كيف تكشف عن القماش الخالي من الغبار؟ عندما نشتري ونصنع قطعة قماش نظيفة ، سنقوم بإجراء سلسلة من الاختبارات على جودة القماش النظيف والتأثير الواضح للاستخدام ، لكننا قد لا نعرف طريقة الكشف عن القماش النظيف ، لذلك سنقوم بمشاركته مع كل واحد. للحصول على فكرة عامة عن بعض طرق الكشف عن القماش الخالي من الغبار:
يقوم المستخدم بتقييم القماش النظيف من خلال المواد ومعدل الامتصاص والنظافة وتكلفة المسح. في الغرفة النظيفة لصناعة أشباه الموصلات ، هناك متطلبات عالية للمناديل الخالية من الغبار ، والأيونات ، و ESD ، وما شابه ذلك. يوفر IEST-RP-CC004.3 بعض الطرق لتقييم مناديل خالية من الغبار.
يحتاج القماش الخالي من الغبار إلى اختبار صارم لتلبية متطلبات الأداء ومعايير مكافحة التلوث. بشكل عام ، يجب اختبار القماش الخالي من الغبار على النحو التالي:
اختبار مقاومة التآكل قماش خالية من الغبار
عموما ، اختبار مقاومة التآكل هو اختبار للخصائص الفيزيائية للقماش. ومع ذلك ، في اختبار القماش الخالي من الغبار ، بما أن عملية التآكل تولد جزيئات الغبار ، فمن الأنسب تصنيف اختبار مقاومة التآكل لقطعة القماش الخالية من الغبار في نطاق التحكم في التلوث.
* معيار الاختبار: كلما كانت مقاومة التآكل أقوى ، كلما قل احتمال توليد جزيئات الغبار.
اختبار الوزن أساس القماش خالية من الغبار
اختبار الوزن لكل وحدة مساحة من قطعة قماش نظيفة وفقا ل ASTM-D-3776 * معيار الاختبار المرجعي: المتطلبات العامة هي 150-300g / m2
اختبار نقاوة قماش خالي من الغبار ومعدل شفط
ووفقًا لمتطلبات القسم 8 من IEST-RP-CC004.3 ، يجب اختبار معدل امتصاص وامتصاص قطعة القماش النظيفة. تعكس كمية امتصاص السائل عدد ملليلتر السائل الممتص بواسطة قطعة قماش نظيفة لكل وحدة مساحة. يشير معدل الامتصاص إلى الوقت اللازم لامتصاص قطعة القماش النظيفة 10 مل من السائل. يجب قياس كل من القياسات ثلاث مرات ويحسب متوسط القيمة. * معيار الاختبار المرجعي: لا يقل امتصاص السائل عموما عن 400g / m2.
لا تتجاوز سرعة شفط القماش الخالية من الغبار عمومًا أكثر من ثانية واحدة.
IC اﺧﺗﺑﺎر ﻗﯾﺎس ﮐﻣﯾﺔ وﮐﻣﯾﺔ ﮐﻣﯾﺔ اﻟﻣﺣﺗوى ﻏﯾر اﻷﻧﯾون وأﺟﮭزة اﻟﮐﯾﺗوﻧﺎت وﻓﻘًﺎ ﻟﻣﺗطﻟﺑﺎت اﻟﻘﺳم 7.2 ﻣن IEST-RP-CC004.3.
* معيار الاختبار المرجعي ، في صناعة الرأس ، يتطلب عادة CL-≤0.03ug / cm2 ؛ SO42-≤0.03ug / CM2. NO3-≤0.03ugcm2. المجموع: <1.0ug>
اختبار NVR يتم اختبار بقايا غير متطايرة لكل وحدة مساحة وفقًا للقسم 7.1 من IEST-RP-CC004.3. في اختبار NVR ، يتم غمر القماش الخالي من الغبار في كمية معينة من المذيب لفترة زمنية محددة ، ثم يتم إخراج قطعة القماش الخالية من الغبار لاختبار جودة البقايا غير المتطايرة المُذابة في المذيب.
* معيار الاختبار المرجعي: في صناعة الرأس ، والمتطلب العام هو <3.0ug>
اختبار LPC يتم إجراء اختبار LPC على قطعة قماش نظيفة وفقًا لمتطلبات القسم 6.2.1 من IEST-RP-CC004.3. يمكن لـ LPC اختبار عدد جزيئات الغبار السائلة على قطعة قماش نظيفة.
اختبار LPC هو نقع القماش الخالي من الغبار في كمية معينة من ماء DI وتذبذب الموجات فوق الصوتية لقياس تركيز جزيئات الغبار في ماء DI.
* معيار الاختبار المرجعي: في صناعة الرأس ، يتطلب عمومًا <30 حسابًا="" سم="">
اختبار FTIR قماش خالية من الغبار فورييه تحويل اختبار الطيف الأشعة تحت الحمراء
* معايير الاختبار المرجعية: زيت السيليكون ، مركبات الأمينية ، الملدنات غير مسموح بها بشكل عام.
اختبار النظيفة القماش GC
اختبار GC هو طريقة تستخدم لتحليل نوع وكمية الملوثات العضوية على قطعة قماش نظيفة.
* معيار الاختبار المرجعي: في صناعة الرأس ، المجموع: <>
